FFU操作指導書

1.開機前提前準備

1)開機前確定FFU空氣過濾網表層整潔，如有異物或塵土，用無塵擦拭布清除灰塵。不然會直接影響到濾棉使用壽命。

2.啟動

1)將開關電源按鍵開關置位“I”開啟總電源。

2)將日日光燈按鍵開關置位“I”即可開啟照明燈具。

3)將離心風機調速開關順時針方向慢慢轉動，離心風機隨著加快，反方向降速，拿手接近過濾，感到有一定排風量吹出來就可以。

1)將開關電源按鍵開關置位“I”開啟總電源。

2)將離心風機擋位撥中等速度MED，(可以通過快速HIG、中等速度MED、低LOW選擇適合自己的排風量，用觸感接近過濾，覺有一定排風量吹出來就可以。)

備注名稱：如果你已經設定好各功能，也可以直接將電源總開關置位“I”也可以無須每一次按序啟動。

3.空氣潔凈度測試

1)用氣體顆粒計數器檢測，0.3μm顆粒低于300個，0.5μm顆粒低于100個，表明空氣潔凈已合格，就可以生產工作。

4.待機1)可以直接電源總開關置位“O”關掉總電源;確定離心風機、照明燈具關閉就可以。

5.注意要點：

1)過濾棉每十二個月更換一次。

2)初效過濾網第每周清洗一次。

3)每天上下班搞好外界*方位清理。

風淋設備由于操作比較簡單，所以對于每一個人來說，都是很容易操作的，而且學起來也很快，比如說有些場所裝平移自動門的空間不夠，然后就可以使用這種全自動感應開門系統，在非接觸式感應器的配合下，就可以非常輕松的完成，不但能夠節省空間，而且還能夠減少投資，密封性也是很好的。這種風淋設備的使用能夠更好的為人們的工作增加效率，而且也能夠帶來很多的方便，在以后的發展當中都是會運用到它的，所以我們多了解關于它的信息還是很有必要的。

集成電路制造對無塵室自然環境控制有比較明確的規定，FFU恰好也是*凈化室不可或缺的凈化設備，不同類型的芯片工藝對清潔度的需求也不盡相同，比如光刻技術規定在1級免疫微環境下，而有機化學機械設備碾磨則要求的是1000級自然環境就可以。